Aux spécificités uniques au monde, ce microscope électronique en transmission à ultra-haute résolution aboutit à la compréhension intime, à l’échelle atomique, des mécanismes qui gouvernent la croissance des nano-objets.
Cette compréhension est essentielle pour maîtriser la fabrication de ces nano-objets en contrôlant leur géométrie, leur structure cristalline, leur composition chimique. De cette maîtrise découle aussi la maîtrise de leurs propriétés électroniques et optiques. Il s’agit à terme de pouvoir produire ces nano-objets soit à grande échelle, soit pour des applications pointues à haut contenu technologique.

La grande originalité de NanoMAX est d’apporter la matière à l’échantillon atome par atome, d’une manière très contrôlée :
> par des faisceaux moléculaires : épitaxie par jets moléculaires – MBE;
> par des faisceaux de radicaux gazeux : dépôt chimique en phase vapeur – CVD – assisté;
> par CVD conventionnel et CVD à précurseurs liquides.

NanoMAX offre une résolution spatiale inférieure à l'angström et disposera dès la fin 2018 d'une caméra rapide Gatan K2-IS permettant de capter des évènements ne durant que quelques ms et d'imager sous faible dose les objets sensibles à l'irradiation.

NanoMAX est un prototype conçu en collaboration avec la société Thermo-Fischer (FEI) sur la base d'un Titan 60-300 ETEM doté d'un correcteur de l'aberration sphérique de la lentille objectif. Il fonctionne par campagnes en CVD, MBE. Les expériences de microscopie à haute résolution à faible dose peuvent s'insérer au sein de ces campagnes.

Intéressé par cette plateforme ? Contactez-nous en cliquant ici