COUCHES MINCES
Diffractomètre Rigaku Smartlab (2018)
Cet équipement est dédié principalement aux mesures de films minces (polycristallins, monocristallins ou amorphes), qui peuvent être texturés ou épitaxiés, à température ambiante ou en température.
Intensité de son faisceau de rayons X (anode tournante) conduisant à une statistique de comptage qui permet des acquisitions rapides avec une grande résolution.
Mesures en faisceau parallèle à haute résolution et en configuration in-plane (mesures sur des plans dont la normale n'est pas perpendiculaire à la surface analysée) permettant l'étude de la structure cristalline de matériaux épitaxiés, de cartographies de l’espace réciproque dans le plan et de figures de pôles.
Détecteur 2D haute résolution permettant l’acquisition ultra- rapide de données in situ (quelques dizaines de secondes) pour des suivis de cinétiques de changement de phases jusqu'à 1100°C.
Ce diffractomètre présente une grande modularité optique, qui permet ainsi l’analyse de tout type d’échantillon, même en très faibles quantités, pour :
Diffraction des rayons X sur poudre en montage Bragg-Brentano, pour l'identification de phase et l'analyse quantitative de mélanges
Diffraction des rayons X à haute résolution sur couches minces en montage de faisceau parallèle pour l’analyse :
1) de leur structure cristallographique,
2) leur orientation préférentielle (analyse de texture, figures de pôle dans et hors du plan)
3) leur qualité cristalline (rocking curve et cartographie de l’espace réciproque RSM)
Diffraction des rayons X à incidence rasante GIXRD - pour les mesures de couches minces polycristallines
Réflectométrie aux rayons X XRR - pour la détermination de l'épaisseur des couches minces cristallines ou amorphes
Microdiffraction pour l'analyse de petits échantillons ou de zones spécifiques, avec une cartographie possible de la surface de l'échantillon
Description technique du diffractomètre : Smartlab
Logiciels dédiés:
• Analyses des poudres et films polycristallins : PDXL2 et SmartLabStudio2 (Rigaku)
• Analyses XRR, RSM et figures de pôles: LEPTOS (Bruker AXS), GlobalFit, 3D Explore et SmartLabStudio2 (Rigaku), PARRAT
• Analyses des textures : MULTEX (Bruker AXS)