COUCHES MINCES
Diffractomètre Rigaku Smartlab (2018)
Cet équipement est dédié principalement aux mesures de films minces (polycristallins, monocristallins ou amorphes), qui peuvent être texturés ou épitaxiés, à température ambiante ou en température.
Intensité de son faisceau de rayons X (anode tournante) conduisant à une statistique de comptage qui permet des acquisitions rapides avec une grande résolution
Mesures en faisceau parallèle à haute résolution et en configuration in-plane (mesures sur des plans dont la normale n'est pas perpendiculaire à la surface analysée) permettant l'étude de la structure cristalline de matériaux épitaxiés quasi parfaits, de cartographies de l’espace réciproque dans le plan et de figures de pôles.
Détecteur 2D haute résolution permettant l’acquisition ultra- rapide de données in situ (quelques dizaines de secondes) pour des suivis de cinétiques de changement de phases
Grande modularité optique, qui permet ainsi l’analyse de tout type d’échantillon, même en très faibles quantités, pour :
Diffraction des rayons X sur poudre - pour l'identification de phase et l'analyse quantitative de mélanges
Diffraction des rayons X à haute résolution sur couches minces pour l’analyse :
1) de leur structure cristallographique,
2) leur orientation préférentielle (analyse de texture, figures de pôle dans et hors du plan)
3) leur qualité cristalline (rocking curve et cartographie de l’espace réciproque RSM)
Diffraction des rayons X à incidence rasante GIXRD - pour les mesures de couches minces cristallines
Réflectométrie aux rayons X XRR - pour la détermination de l'épaisseur des couches minces cristallines ou amorphes
Description technique du diffractomètre : Smartlab
Logiciels dédiés:
• Analyses des poudres et films polycristallins : PDXL2 (Rigaku)
• Analyses XRR, RSM et figures de pôles: LEPTOS (Bruker AXS), GlobalFit and 3D Explore (Rigaku), PARRAT
• Analyses des textures : MULTEX (Bruker AXS)